MICROMECHANICAL Z-AXIS GYROSCOPE

A micromechanical sensor device for measuring angular z-axis motion comprises two vibratory structures (2.1, 2.2, 7.1, 7.2) each having at least one proof mass (2.1, 2.2). A suspension structure (3.1, 4.1, 4.2, 5.1, 6.1,... 6.4) maintains the two vibratory structures (2.1, 2.2, 7.1, 7.2) in a mobile suspended position above the substrate ( 1) for movement parallel to the substrate plane in drive-mode direction (x-axis) and in sense-mode direction (y-axis). A coupling support structure (4.1, 4.2) connects the coupling structure (5.1, 5.2, 6.1,... 6.4) to an anchor structure (3.1, 3.2) and enables a rotational swinging movement of the coupling structure (5.1, 5.2), the rotational swinging movement having an axis of rotation that is perpendicular to the substrate plane. Each of the vibratory structures (2.1, 2.2, 7.1, 7.2) comprises at least one shuttle mass (7.1, 7.2) coupled to the at least one proof mass (2.1, 2.2) by sense-mode springs (8.1, 8.4), which are more flexible in sense-mode direction than in drive-mode direction (x), for activating a vibration movement of each vibratory structure (2.1, 2.2, 7.1, 7.2). A sensing electrode structure ( 10.1, 10.2) for each proof mass (2.1, 2.2) is designed for detecting sense-mode movements that are parallel to the substrate plane, The coupling support structure (4.1, 4.2) is designed to also enable a translational movement of the coupling structure (5. 1, 5.2, 6. 1,... 6.4) in drive- mode direction (x). La présente invention concerne un dispositif micromécanique de détection servant à mesurer un déplacement angulaire suivant l'axe des z, le dispositif comprenant deux structures vibratoires (2.1, 2.2, 7.1, 7.2), chacune étant dotée d'au moins une masse étalon (2.1, 2.2). Une structure de suspension (3.1, 4.1, 4.2, 5.1, 6.1,... 6.4) maintient les deux structures vibratoires (2.1, 2.2, 7.1, 7.2) dans une position mobile en suspension au-dessus d'un substrat (1) afin qu'elles puissent se déplacer parallèlement au plan du substrat selon une direction en mode entraînement (axe des x) et selon une direction en mode détection (axe des y). Une structure de support d'accouplement (4.1, 4.2) raccorde une structure d'accouplement (5.1, 5.2, 6.1, ... 6.4) à une structure d'ancrage (3.1, 3.2) et permet à la structure d'accouplement (5.1, 5.2) d'avoir un mouvement rotationnel oscillant, le mouvement rotationnel oscillant possédant un axe de rotation qui est perpendiculaire au plan du substrat. Chacune des structures vibratoires