DELTA DIE INTENSITY MAP MEASUREMENT

With an optical inspection tool, images of a plurality of patches of a plurality of dies of a reticle are obtained. The patch images are obtained so that each patch image is positioned relative to a same reference position within its respective die as another die- equivalent one of the patch images in each the other ones of the dies. For each patch image, an integrated value is determined for an image characteristic of sub-portions of such patch image. For each patch image, a reference value is determined based on the integrated values of the patch image's corresponding die-equivalent patch images. For each patch image, a difference between that patch image's integrated value and an average or median value of its die-equivalent patch images is determined whereby a significant difference indicates a variance in a pattern characteristic of a patch and an average or median pattern characteristic of its die-equivalent patches. Selon la présente invention, à l'aide d'un outil d'inspection optique, des images d'une pluralité de pièces d'une pluralité de puces d'un réticule sont obtenues. Les images pièces sont obtenues de telle sorte que chaque image pièce est positionnée par rapport à une même position de référence à l'intérieur de sa puce respective en tant que l'une équivalente à un autre puce des images pièces dans chacune des autres des puces. Pour chaque image pièce, une valeur intégrée est déterminée pour une image caractéristique de sous-parties d'une telle image pièce. Pour chaque image pièce, une valeur de référence est déterminée sur la base des valeurs intégrées des images pièces équivalentes à puce correspondante à image pièce. Pour chaque image pièce, une différence entre cette valeur intégrée d'image pièce et une valeur moyenne ou médiane de cette image pièce équivalente à puce est déterminée, ce par quoi une différence significative indique une variance dans un motif caractéristique d'une pièce et un motif moyen ou médian caractéristique de ces pièces équivalentes à puce.