METHOD FOR PREPARING MONOSILANE BY USING TRIALKOXYSILANE

Provided is a method for preparing monosilane, more particularly a method for economically preparing monosilane, which is useful for the composition of a thin semiconductor structure and multipurpose high-purity polycrystalline silicon, by preparing monosilane with high purity and high yield using t...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KIM, DEOK YUN, KHATAM, ASHUROV, KHEKAYAT, ASHUROVA, AZIZ, KURBANOV, SULTAN, AZIZOV, VLADIMIR, ROTSHTEYN, KIM, TAEK JOONG, KIM, YONG IL, SHAVKAT, SALIKHOV, KIM, KYUNG YEOL, ILYOS, ABDISAIDOV, RUSTAM, ASHUROV
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY CHEMISTRY COMPOUNDS THEREOF INORGANIC CHEMISTRY METALLURGY NON-METALLIC ELEMENTS PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL THEIR RELEVANT APPARATUS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Provided is a method for preparing monosilane, more particularly a method for economically preparing monosilane, which is useful for the composition of a thin semiconductor structure and multipurpose high-purity polycrystalline silicon, by preparing monosilane with high purity and high yield using trialkoxysilane. L'invention porte sur un procédé pour la préparation de monosilane, plus particulièrement sur un procédé pour la préparation de monosilane de façon économique, qui est utile pour la composition d'une structure à semi-conducteur mince et de silicium polycristallin de haute pureté à usages multiples, par préparation de monosilane de pureté élevée et avec un rendement de production élevé à l'aide de trialcoxysilane.