DEVELOPABLE BOTTOM ANTI-REFLECTIVE COATING

The present invention provides a cross-linking agent capable of preventing formation of scum from a bottom anti-reflective coating, and also provides a composition for forming a bottom anti-reflection coating containing the agent. The cross-linking agent is a nitrogen- containing aromatic compound having at least one vinyloxy group or N-methoxymethylamide group, and the composition contains the cross-linking agent. Each of E1 to E3 is independently selected from the group consisting of carbon and nitrogen atoms, provided that at least one of them is a nitrogen atom; each of F1 to F3 is independently selected from the group consisting of oxygen and sulfur atoms; each of G1 to G3 is independently selected from the group consisting of a vinyloxy group, a N-methoxymethylamide group and a hydrogen atom, provided that at least one of them is a vinyloxy group or a N- methoxymethylamide group; and each of p1 to p3 is independently selected from integer including 0 provided that at least any two of them are at least 1 or above 1. La présente invention porte sur un agent de réticulation pouvant empêcher la formation de voile à partir d'un revêtement antireflet inférieur et également sur une composition de formation d'un revêtement antireflet inférieur contenant l'agent. L'agent de réticulation est un composé aromatique contenant de l'azote ayant au moins un groupe vinyloxy ou groupe N-méthoxyméthylamide et la composition contient l'agent de réticulation. L'agent de réticulation représenté par la formule (1) peut être produit par réaction d'un composé aromatique contenant de l'azote, d'un composé halogéné ayant un groupe vinyloxy ou groupe N-méthoxyméthylamide et d'un composé basique.