GAS SUPPLY UNIT FOR SUPPLYING MULTIPLE GASES, AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

The present invention relates to a gas supply unit for supplying multiple gases. The gas supply unit for supplying multiple gases according to one embodiment of the present invention comprises an outer pipe and one or more inner pipes positioned in the interior of the outer pipe, wherein the gas for a first process, supplied to the inner pipe via a plurality of first gas injectors, is injected to the exterior of the outer pipe, and the gas for a second process, supplied to the outer pipe via a plurality of second gas injectors, is injected to the exterior of the outer pipe. La présente invention concerne une unité d'introduction de gaz pour introduire des gaz multiples. L'unité d'introduction de gaz pour introduire des gaz multiples selon un mode de réalisation de la présente invention comprend un tuyau externe et un ou plusieurs tuyaux internes positionnés à l'intérieur du tuyau externe, le gaz pour un premier procédé, introduit dans le tuyau interne par l'intermédiaire d'une pluralité de premiers injecteurs de gaz, étant injecté à l'extérieur du tuyau externe, et le gaz pour un second procédé, introduit dans le tuyau externe par l'intermédiaire d'une pluralité de seconds injecteurs de gaz, étant injecté à l'extérieur du tuyau externe.