REDUCTION OF RADIATION THERMOMETRY BIAS ERRORS IN A CVD REACTOR

Apparatuses for reducing radiation thermometry bias errors in enclosures such as CVD reactors. In one embodiment, a radiation thermometer utilizes an off-focus telecentric lens arrangement. The off-focus telecentric arrangement is focused at infinity, but is utilized to capture radiation from a relatively proximate target (e.g., within a couple meters) that is out of focus. The capture of collimated radiation from the target diminishes the contribution of stray radiation. In another embodiment, scattered radiation originating from a designated segment of a peripheral heating element can be reduced locally by one of several mechanisms, including reducing the emission (e.g., operating temperature) of the designated segment, or capturing or deflecting a portion of the radiation originating from the designated segment. Radiation thermometers fixed proximate an axis that extends from the center of the wafer carrier and across the designated segment are subject to less stray radiation, thus providing a more reliable temperature reading. L'invention concerne des appareils pour réduire les erreurs de justesse de thermométrie par détection de radiations dans des enceintes comme des réacteurs CVD. Dans une forme de réalisation, un thermomètre à rayonnement utilise un agencement de lentilles télécentrique hors-foyer. L'agencement télécentrique hors foyer est focalisé à l'infini, mais est utilisé pour capturer les rayonnements d'une cible relativement proche (par exemple, à quelques mètres) qui est hors foyer. La capture du rayonnement collimaté de la cible diminue la contribution de rayonnement parasite. Dans une autre forme de réalisation, le rayonnement dispersé provenant d'un segment désigné d'un élément de chauffage périphérique peut être réduit localement par un de plusieurs mécanismes, incluant la réduction de l'émission (par exemple, température de fonctionnement) du segment désigné, ou la capture ou la déviation d'une portion du rayonnement provenant du segment désigné. Les thermomètres à rayonnements fixés près d'un axe qui s'étend du centre du support de la galette et à travers le segment désigné sont sujets à moins de rayonnement parasite, fournissant ainsi une lecture de température plus fiable.