TWO-PART RETAINING RING WITH INTERLOCK FEATURES

A retaining ring includes an annular lower portion and an annular upper portion. The annular lower portion has a main body with a bottom surface for contacting a polishing pad during polishing, an inner rim projecting upward from the main body, an outer rim projecting upward from the main body and separated from the inner rim by a gap, and a plurality of azimuthally separated interlock features positioned between the inner rim and the outer rim, each interlock feature projecting upwardly from the main body. The annular upper portion has a top surface and a bottom surface and a plurality of azimuthally separated recesses in the bottom surface, the recesses defining thin portions of the upper portion, the plurality of interlock features fitting into the plurality of recesses. The lower portion is a plastic and the upper portion is a material that is more rigid than the plastic. La présente invention concerne un anneau de retenue qui comprend une partie inférieure annulaire et une partie supérieure annulaire. La partie inférieure annulaire a un corps principal ayant une surface inférieure destinée à entrer en contact avec un tampon de polissage durant un polissage, un bord intérieur se projetant vers le haut à partir du corps principal, un bord extérieur se projetant vers le haut à partir du corps principal et séparé du bord intérieur par un espace, et une pluralité d'éléments de verrouillage réciproque séparées de manière azimute positionnés entre le bord intérieur et le bord extérieur, chaque élément de verrouillage réciproque se projetant vers le haut à partir du corps principal. La partie supérieure annulaire a une surface supérieure et une surface inférieure et une pluralité de renfoncements séparés de manière azimute dans la surface inférieure, les renfoncements définissant des parties minces de la partie supérieure, la pluralité d'éléments de verrouillage réciproque s'ajustant dans la pluralité de renfoncements. La partie inférieure est en une matière plastique et la partie supérieure est en un matériau qui est plus rigide que la matière plastique.