BEAM IMAGING SENSOR
The present invention relates generally to the field of sensors for beam imaging and, in particular, to a new and useful beam imaging sensor for use in determining, for example, the power density distribution of a beam including, but not limited to, an electron beam or an ion beam. In one embodiment...
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| Hauptverfasser: | , |
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
| Schlagworte: | |
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| Zusammenfassung: | The present invention relates generally to the field of sensors for beam imaging and, in particular, to a new and useful beam imaging sensor for use in determining, for example, the power density distribution of a beam including, but not limited to, an electron beam or an ion beam. In one embodiment, the beam imaging sensor of the present invention comprises, among other items, a circumferential slit that is either circular, elliptical or polygonal in nature.
La présente invention concerne de manière générale le domaine des capteurs pour l'imagerie d'un faisceau, en particulier, un nouveau capteur d'imagerie de faisceau utile servant à déterminer, par exemple, la distribution de densité de puissance d'un faisceau, y compris notamment, mais pas exclusivement, un faisceau d'électrons ou un faisceau d'ions. Dans une forme de réalisation, le capteur d'imagerie de faisceau de la présente invention comprend, entre autres, une fente circonférentielle qui est de nature circulaire, elliptique ou polygonale. |
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