DIELECTRIC WINDOW CLEANING APPARATUSES

A dielectric window cleaning apparatus (100) may be used for cleaning a dielectric window (110) of a plasma processing device. The dielectric window cleaning apparatus may comprise a window support base, (170) a fluid containing enclosure, a window rotating mechanism, a spray arm(150), and multiple fluid spraying nozzles. The fluid containing enclosure may include at least one overflow containment sidewall (132) and may be located at least partially under and at least partially around a portion of the window support base. The window rotating mechanism (120) may be operatively connected to the window support base and may rotate the window support base. The spray arm may be in fluid communication with a fluid source and may include a fluid flow channel. The multiple fluid spraying nozzles may each expel fluid from the fluid flow channel in a window cleansing spray. L'invention concerne un appareil de nettoyage de fenêtre diélectrique qui peut être utilisé pour nettoyer une fenêtre diélectrique d'un dispositif de traitement au plasma. L'appareil de nettoyage de fenêtre diélectrique peut comprendre une base de support de fenêtre, une enceinte contenant un fluide, un mécanisme de rotation de fenêtre, un bras de pulvérisation, et de multiples buses de pulvérisation de fluide. L'enceinte contenant un fluide peut comprendre au moins une paroi latérale de confinement de trop-plein et peut être située au moins partiellement en dessous et au moins partiellement autour d'une partie de la base de support de fenêtre. Le mécanisme de rotation de fenêtre peut être relié de manière fonctionnelle à la base de support de fenêtre et peut faire tourner la base de support de fenêtre. Le bras de pulvérisation peut être en communication fluidique avec une source de fluide et peut comprendre un canal d'écoulement de fluide. Les multiples buses de pulvérisation de fluide peuvent chacune expulser le fluide à partir du canal d'écoulement de fluide dans une pulvérisation de nettoyage de fenêtre.