INSTALLATION FIXTURE FOR ELASTOMER BANDS AND METHODS OF USING THE SAME

A method of installing an elastomer band as a protective edge seal around a portion of a semiconductor substrate support used for supporting a semiconductor substrate in a plasma processing chamber, which includes expanding an elastomer band into a circular shape having a diameter greater than a diameter of a mounting groove within the substrate support; clamping the elastomer band in the expanded shape between a base ring and a clamp ring; placing the elastomer band over the substrate support in the expanded shape; and releasing the elastomer band from between the base and clamp rings, which contracts the elastomer band into the mounting groove of the substrate support. L'invention concerne un procédé d'installation d'une bande d'élastomère en tant que joint de bordure protecteur autour d'une partie d'un support de substrat semiconducteur utilisé pour supporter un substrat semiconducteur dans une chambre de traitement au plasma, qui comprend la distension d'une bande élastomère en une forme circulaire ayant un diamètre supérieur à un diamètre d'un sillon de montage dans le support de substrat ; le serrage de la bande élastomère sous la forme distendue sur le support de substrat entre un anneau de base et une bague de serrage ; le placement de la bande d'élastomère sur le support de substrat sous sa forme distendue ; et le relâchement de la bande d'élastomère entre l'anneau de base et la bague de serrage, ce qui contracte la bande d'élastomère dans le sillon de montage du support de substrat.