MEASURING SYSTEM FOR MEASURING AN IMAGING QUALITY OF AN EUV LENS

A measuring system (10) for measuring an imaging quality of an EUV lens (30) comprises: a diffractive test structure (26), a measurement light radiating device (16) which is configured to radiate measurement light (21) in the EUV wavelength range onto the test structure, a variation device (28) for varying at least one image-determining parameter of an imaging of the test structure that is effected by means of a lens, a detector (14) for recording an image stack comprising a plurality of images generated with different image-determining parameters being set, and an evaluation device (15) which is configured to determine the imaging quality of the lens from the image stack. L'invention concerne un système de mesure (10) permettant de mesurer la qualité d'imagerie d'une lentille EUV (30), comprenant: une structure de test diffractive (26), un dispositif de rayonnement de lumière de mesure (16) conçu pour émettre une lumière de mesure (21) dans la plage de longueurs d'onde EUV sur la structure de test, un dispositif de variation (28) afin de faire varier au moins un paramètre de détermination d'image d'une imagerie de la structure de test affecté par le biais d'une lentille, un détecteur (14) afin d'enregistrer un empilement d'images comprenant plusieurs images générées avec des paramètres réglés de détermination d'image différents, et un dispositif d'évaluation (15) conçu pour déterminer une qualité d'imagerie de la lentille à partir de l'empilement d'images.