SYSTEM AND METHOD FOR PROVIDING A SELF VALIDATING MASS FLOW CONTROLLER OR A MASS FLOW METER UTILIZING A SOFTWARE PROTOCOL

The disclosed embodiments include a method, apparatus, and computer program product for verifying a performance of a mass flow controller or mass flow meter on a tool. For example, the disclosed embodiments include a method and a mass flow controller configured to perform, in-situ, by the mass flow controller, a rate of decay measurement during on-line operation of the tool to identify valve leak issues and/or for performing a flow measurement. Les modes de réalisation décrits de l'invention concernent un procédé, un appareil et un produit programme d'ordinateur pour vérifier le fonctionnement d'un régulateur de débit massique ou d'un débitmètre massique sur un outil. Par exemple, les modes de réalisation décrits concernent un procédé et un régulateur de débit massique configurés pour effectuer, sur le terrain, par le régulateur de débit massique, une mesure de vitesse de ralentissement durant un fonctionnement en ligne de l'outil afin d'identifier des problèmes de fuite de vanne et/ou pour effectuer une mesure de débit.