SYSTEM AND METHOD FOR USING A MODEL FOR IMPROVING CONTROL OF A MASS FLOW CONTROLLER
The disclosed embodiments include a method, apparatus, and computer program product for controlling the mass flow rate of a fluid. For example, the disclosed embodiments include a method and a mass flow controller configured to determine, using on valve hysteresis model, a valve drive necessary to g...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | The disclosed embodiments include a method, apparatus, and computer program product for controlling the mass flow rate of a fluid. For example, the disclosed embodiments include a method and a mass flow controller configured to determine, using on valve hysteresis model, a valve drive necessary to generate a force to achieve a valve lift for moving an adjustable valve to a desired valve position based on a given flow setpoint for controlling the flow of a fluid.
Les modes de réalisation de l'invention concernent une méthode, un appareil et un produit logiciel permettant de réguler le débit massique d'un fluide. Par exemple, les modes de réalisation de l'invention concernent une méthode et un régulateur de débit massique configuré pour déterminer, grâce à un modèle d'hystérésis de vanne, un entraînement de vanne nécessaire pour produire une force permettant d'obtenir une levée de vanne permettant de déplacer une vanne réglable jusqu'à une position de vanne souhaitée en fonction d'une consigne de débit donnée afin de réguler le débit d'un fluide. |
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