VARIABLE PRESSURE FOUR-POINT COATED PROBE PIN DEVICE AND METHOD

A variable pressure probe pin device, including: a housing with a channel having a first longitudinal axis; a probe at least partially disposed in the channel and including a plurality of probe pins configured to measure a property of a conductive layer; and a fluid pressure system configured to sup...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: JOHNSON, WALTER, ZHU, NANCHANG
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:A variable pressure probe pin device, including: a housing with a channel having a first longitudinal axis; a probe at least partially disposed in the channel and including a plurality of probe pins configured to measure a property of a conductive layer; and a fluid pressure system configured to supply pressurized fluid o the channel to control a position of the probe within the channel. The housing or the probe is displaceable such that the plurality of probe pins contact the conductive layer. La présente invention porte sur un dispositif de broche de sonde de pression variable qui comprend : un logement ayant un canal qui présente un premier axe longitudinal ; une sonde au moins partiellement disposée dans le canal et comprenant une pluralité de broches de sonde configurées pour mesurer une propriété d'une couche conductrice ; un système de pression de fluide configuré pour alimenter un fluide mis sous pression au canal afin de commander une position de la sonde à l'intérieur du canal. Le logement ou la sonde peut être déplacée de telle sorte que la pluralité de broches de sonde viennent en contact avec la couche conductrice.