PRE-IRRADIATION IN GAS DISCHARGE LASING DEVICES USING MULTIPLE PRE-IRRADIATION DISCHARGES PER ELECTRICAL FEED-THROUGH

A pre-irradiation system and method may be used in a gas discharge lasing device to provide multiple ultraviolet (UV) pre-irradiation discharges per electrical feed-through into a gas discharge chamber of the lasing device. One or more high- voltage electrical feed- throughs are electrically connected to one or more high- voltage electrodes that provide multiple discharge paths to a current return electrode to allow multiple pre-irradiation discharges per feed-through in response to high- voltage pulses applied via the feed- through(s). The discharge paths may include spark gap discharge paths and/or tracking discharge paths across an insulator. In some embodiments, multiple discharge paths are formed between respective tracking locators on a high voltage electrode and/or a current return electrode. In other embodiments, multiple discharge paths are formed between respective discharge locations on a high voltage electrode surrounded by an insulator, which spark or track to a current return electrode. La présente invention concerne un système de pré-irradiation et un procédé pouvant être utilisés dans un dispositif laser à décharge gazeuse pour fournir des décharges multiples de pré-irradiation aux ultra-violets (UV) par borne électrique dans une chambre à décharge gazeuse du dispositif laser. Une ou plusieurs bornes électriques haute tension sont connectées électriquement à une ou plusieurs électrodes haute tension qui fournissent des passages de décharge multiples à une électrode de retour de courant afin de permettre des décharges multiples de pré-irradiation par borne en réponse à des impulsions haute tension appliquées par l'intermédiaire de la/des borne(s). Les passages de décharge peuvent consister en des passages de décharge d'éclatement et/ou des passages de cheminement de décharge dans un isolateur. Dans certains modes de réalisation, des passages de décharge multiples sont formés entre des localisateurs de cheminement respectifs sur une électrode haute tension et/ou sur une électrode de retour de courant. Dans d'autres modes de réalisation, des passages de décharge multiples sont formés entre des positions de décharge respectives sur une électrode haute tension entourée par un isolateur, qui éclatent ou cheminent vers une électrode de retour de courant.