DATA CORRECTION APPARATUS AND DATA CORRECTION PROGRAM

[Problem] To provide a data correction apparatus and a data correction program, which make it possible to highly accurately measure shapes of workpieces without changing relative tilts of the workpieces and a microscope objective lens. [Solution] This data correction apparatus has: a storage unit, which stores information, in which a tilt angle of a region measured by means of a shape measuring apparatus (10) using white light interference, and a correction value for correcting height data of the region are associated with each other; an acquiring unit, which acquires height data of a predetermined region, said height data having been obtained by measuring a workpiece (W) by means of the shape measuring apparatus (10); a calculating unit, which calculates a tilt angle of the predetermined region, the height data of which has been acquired by the acquiring unit; a determining unit, which determines, using the information stored in the storage unit, a correction value that corresponds to the tilt angle calculated by means of the calculating unit; and a correcting unit, which corrects the height data using the correction value determined by means of the determining unit, said height data having been acquired by means of the acquiring unit. Le problème décrit par l'invention est de pourvoir à un appareil de correction de données et un programme de correction de données qui rendent possible de mesurer très précisément des formes de pièces sans changer les inclinaisons relatives des pièces et d'un objectif de microscope. La solution selon l'invention porte sur un appareil de correction de données qui comprend : une unité de stockage, qui stocke des informations dans lesquelles un angle d'inclinaison d'une région mesurée au moyen d'un appareil de mesure de forme (10) utilisant les interférences en lumière blanche et une valeur de correction servant à corriger des données de hauteur de la région sont associés l'un à l'autre ; une unité d'acquisition, qui acquiert des données de hauteur d'une région prédéterminée, lesdites données de hauteur ayant été obtenues par mesure d'une pièce (W) au moyen de l'appareil de mesure de forme (10) ; une unité de calcul, qui calcule un angle d'inclinaison de la région prédéterminée, dont les données de hauteur ont été acquises par l'unité d'acquisition ; une unité de détermination, qui détermine, à l'aide des informations stockées dans l'unité de stockage, une valeur de correction qui correspond à l'angle d'inclinaison calculé au