SHAPE-MEASURING DEVICE

[Problem] To provide a shape-measuring device that can measure the shape of a workpiece with high precision by accurately ascertaining the relative position of the interference optical system with respect to the loading platform when white light interference fringes are imaged, without being affected by microscopic fluctuations in the relative distance between the loading platform and the interference optical system arising from vibration of the shape-measuring device, driving precision of driving stages, temperature fluctuations, warping of parts, etc. [Solution] This shape-measuring device (1), which measures the shape of a workpiece using white light interference, comprises: a loading platform (10) for loading the workpiece (W); an interference optical system (100) that irradiates white light (WL) on the workpiece (W) to generate white light interference fringes; a driving unit (26) that moves the position of either the loading platform or the interference optical system in the direction of the optical axis; a length-measuring machine (50) that measures the relative distance (L) between the loading platform and the interference optical system that is changed by the driving unit; and an imaging unit (40) for imaging the white light interference fringes in order to obtain white light interference fringe contrast information, which changes with relative distance. La présente invention vise à proposer un dispositif de mesure de forme qui peut mesurer la forme d'une pièce de travail avec une précision élevée par vérification de manière précise de la position relative du système optique d'interférence par rapport à la plateforme de chargement lorsque des franges d'interférence de lumière blanche sont imagées, sans être affecté par des fluctuations microscopiques dans la distance relative entre la plateforme de chargement et le système optique d'interférence survenant d'une vibration du dispositif de mesure de forme, d'une précision d'entraînement d'étages d'entraînement, de fluctuations de température, de gauchissement de parties, etc. A cet effet, la présente invention porte sur un dispositif de mesure de forme (1), qui mesure la forme d'une pièce de travail à l'aide d'une interférence de lumière blanche, qui comprend : une plateforme de chargement (10) pour charger la pièce de travail (W); un système optique d'interférence (100) qui irradie une lumière blanche (WL) sur la pièce de travail (W) pour générer des franges d'interférence de lumière blanche; une u