MULTI-CELL MOCVD APPARATUS

A plurality of independent reaction cells are disposed within a single process module to allow the deposition of films using MOCVD wherein parameters of the deposition are varied in a combinatorial manner. In some embodiments of the present invention, a plurality of independent reaction cells are disposed within a isolated process modules configured in a linear fashion to allow the deposition of films using MOCVD wherein parameters of the deposition are varied in a combinatorial manner. The independent reaction cells may also be utilized to form multilayer film stacks that are varied in a combinatorial manner. Selon l'invention, une pluralité de cellules de réaction indépendantes sont disposées dans un module de traitement unique pour permettre le dépôt de films en utilisant un MOCVD, les paramètres du dépôt variant de manière combinatoire. Dans certaines formes de réalisation de la présente invention, une pluralité de cellules de réaction indépendantes sont disposées dans des modules de traitement isolés configurés de manière linéaire pour permettre le dépôt de films en utilisant la MOCVD, les paramètres de dépôt variant de manière combinatoire. Les cellules de réaction indépendantes peuvent aussi être utilisées pour former des empilements de films multicouches qui varient de manière combinatoire.