MEMS SCANNING MICROMIRROR

A MEMS-micro-mirror (30) is provided comprising a mirror body (50) that is rotatably arranged in a mirror frame (60) around a rotation axis (58) extending in a plane defined by the mirror body. The rotation axis extends through a first and a second mutually opposite end-portion (51, 53) of the mirror body. The mirror has a reflective first main surface (55) and opposite said first main surface a second main surface (57) provided with a first and a second pair of reinforcement beams. The pair of reinforcement beams (91a, 91b) extends from the first end-portion (51) in mutually opposite directions away from the rotation axis. The second pair of reinforcement beams (93a, 93b) extends from the second end-portion (53) in mutually opposite directions away from the rotation axis. Reinforcement beams of said first pair extend towards respective ones of said second pair. L'invention concerne un micro-miroir (30) à MEMS comportant un corps (50) de miroir disposé de façon pivotante dans un cadre (60) de miroir autour d'un axe (58) de rotation s'étendant dans un plan défini par le corps de miroir. L'axe de rotation s'étend à travers une première et une deuxième parties (51, 53) d'extrémités mutuellement opposées du corps de miroir. Le miroir présente une première surface principale réfléchissante (55) et, à l'opposé de ladite première surface principale, une deuxième surface principale (57) dotée d'une première et d'une deuxième paire de poutres de renfort. La paire de poutres (91a, 91b) de renfort s'étend à partir de la première partie (51) d'extrémité dans des directions mutuellement opposées s'éloignant de l'axe de rotation. La deuxième paire de poutres (93a, 93b) de renfort s'étend à partir de la deuxième partie (53) d'extrémité dans des directions mutuellement opposées s'éloignant de l'axe de rotation. Des poutres de renfort de ladite première paire s'étendent en direction de poutres respectives de ladite deuxième paire.