OBSERVATION SPECIMEN FOR USE IN ELECTRON MICROSCOPY, ELECTRON MICROSCOPY, ELECTRON MICROSCOPE, AND DEVICE FOR PRODUCING OBSERVATION SPECIMEN

The electrical charging by a primary electronic is inhibited to produce a clear edge contrast from an observation specimen (i.e., a specimen to be observed), whereby the shape of the surface of a sample can be measured with high accuracy. An observation specimen in which a liquid medium comprising an ionic liquid is formed in a thin-film-like or a webbing-film-like form on a sample is used. An electron microscopy using the observation specimen comprises: a step of measuring the thickness of a liquid medium comprising an ionic liquid on a sample; a step of controlling the conditions for irradiation with a primary electron on the basis of the thickness of the liquid medium comprising the ionic liquid; and a step of irradiating the sample with the primary electron under the above-mentioned primary electron irradiation conditions to form an image of the shape of the sample. La charge électrique appliquée par un faisceau d'électrons primaire est inhibée pour obtenir un spécimen pour l'observation (à savoir, spécimen à observer) présentant un contraste net des bords, qui permet de mesurer la forme de la surface d'un échantillon à une précision élevée. Un spécimen pour l'observation dans lequel un milieu liquide comprenant un liquide ionique est formé en film mince ou en film de type sangles sur un échantillon est utilisé et la méthode de microscopie électronique utilisant le spécimen pour l'observation selon l'invention comprend : une étape de mesure de l'épaisseur du milieu liquide comprenant le liquide ionique sur l'échantillon ; une étape de régulation des conditions d'exposition à un faisceau d'électrons primaire en fonction de l'épaisseur du milieu liquide comprenant le liquide ionique ; et une étape d'exposition de l'échantillon au faisceau d'électrons primaire précité pour former une image de la forme de l'échantillon.