MEMS SCANNING MICROMIRROR

A MEMS micromirror (30) is presented including a frame (60) with a mirror body (50) arranged therein. The mirror body (50) is rotatable around a rotation axis (58) extending in a plane (x-y) defined by the frame (60). The MEMS micromirror (30) further includes at least one cantilever beam assembly (70) having a longitudinal direction and extending within said plane. The MEMS micromirror (30) also includes vertical support beams (40) connected between the mirror body (50) and the frame (60) along the rotation axis (58). The at least one cantilever beam assembly (70) has a cantilever beam (72) with a first and a second end (721, 722) and a relief means (74) at the first end (721) allowing for a translation of the cantilever beam (72) at its first end (721) in said longitudinal direction. The first end (721) is coupled via the relief means (74) to the frame (60) and the second end (722) is fixed to the mirror body (50). The cantilever beam (72) has a thickness, perpendicular to a plane of the frame (60), that is smaller than its width, in the plane of the frame (60). La présente invention porte sur un micro-miroir de système micro-électromécanique (MEMS) (30) comprenant un cadre (60) ayant un corps de miroir (50) agencé dans celui-ci. Le corps de miroir (50) est apte à tourner autour d'un axe de rotation (58) s'étendant dans un plan (x-y) défini par le cadre (60). Le micro-miroir de MEMS (30) comprend en outre au moins un ensemble poutre en porte-à-faux (70) ayant une direction longitudinale et s'étendant dans ledit plan. Le micro-miroir de MEMS (30) comprend également des poutres de support verticales (40) reliées entre le corps de miroir (50) et le cadre (60) le long de l'axe de rotation (58). Le ou les ensembles poutre en porte-à-faux (70) ou une poutre en porte-à-faux (72) ayant une première et une seconde extrémités (721, 722) et un moyen formant relief (74) à la première extrémité (721) autorisant une translation de la poutre en porte-à-faux (72) à sa première extrémité (721) dans ladite direction longitudinale. La première extrémité (721) est couplée par l'intermédiaire du moyen formant relief (74) au cadre (60) et la seconde extrémité (722) est fixée au corps de miroir (50). La poutre en porte-à-faux (72) a une épaisseur, perpendiculaire à un plan du cadre (60), qui est inférieure à sa largeur, dans le plan du cadre (60).