MODULAR FILTRATION SYSTEM

The present disclosure relates to modular filtration systems using removable filter cassettes for filtering liquids including, for example, liquids used in semiconductor manufacturing. A filtration system may include a removable filter cassette having a filter inlet port and a filter outlet port, a filter cassette holder configured to receive and retain the filter cassette, and a main assembly. The main assembly can further comprise a filter inlet interface port configured to receive the filter inlet port, and a filter outlet interface port configured to receive the filter outlet port and can define flow paths to direct flow to and from the filter cassette. The filter cassette holder may be movably coupled to the main assembly such that the filter cassette is movable relative to the main assembly from an unmated position to a mated position. La présente invention concerne des systèmes de filtration modulaires utilisant des cassettes de filtre amovibles pour filtrer des liquides comprenant, par exemple, des liquides utilisés dans la fabrication de semi-conducteur. Un système de filtration peut comprendre une cassette de filtre amovible ayant un orifice d'entrée de filtre et un orifice de sortie de filtre, un support de cassette de filtre configuré pour recevoir et retenir la cassette de filtre, et un ensemble principal. L'ensemble principal peut comprendre en outre un orifice d'interface d'entrée de filtre, et un orifice d'interface de sortie de filtre configuré pour recevoir l'orifice de sortie de filtre et peut définir des trajets d'écoulement pour diriger l'écoulement vers et depuis la cassette de filtre. Le support de cassette de filtre peut être couplé de façon déplaçable par rapport à l'ensemble principal d'une position non accouplée à une position accouplée.