MODULAR FILTER CASSETTE
The present disclosure relates to modular filtration cassettes for filtering liquids including, for example, liquids used in semiconductor manufacturing. A filter housing may define a filter cavity comprising an upstream portion and a downstream portion. The filter may further comprise a filter elem...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | The present disclosure relates to modular filtration cassettes for filtering liquids including, for example, liquids used in semiconductor manufacturing. A filter housing may define a filter cavity comprising an upstream portion and a downstream portion. The filter may further comprise a filter element disposed in the filter cavity. The filter element may at least partially overlap the filter inlet on a first side of the filter element. The filter element may comprise a rectangular pleated filter with a set of pleats having a first set of pleat tips on an upstream side of the filter element and a second set of pleat tips on a downstream side of the pleated filter.
La présente invention concerne des cassettes de filtration modulaire pour filtrer des liquides comprenant, par exemple, des liquides utilisés dans la fabrication de semi-conducteur. Un boîtier de filtre peut définir une cavité de filtre comprenant une partie en amont et une partie en aval. Le filtre peut comprendre en outre un élément de filtre disposé dans la cavité de filtre. L'élément de filtre peut au moins partiellement chevaucher l'entrée de filtre sur un premier côté de l'élément de filtre. L'élément de filtre peut comprendre un filtre plissé rectangulaire avec un ensemble de plis ayant un premier ensemble de pointes de pli sur un côté amont de l'élément de filtre et un deuxième ensemble de pointes de pli sur un côté aval du filtre plissé. |
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