METHODS FOR IN-SITU CALIBRATION OF A FLOW CONTROLLER

Methods and apparatus for in-situ calibration of a flow controller are provided herein. In some embodiments, a method of flowing a gas includes providing a flow controller configured to provide a first gas at a first value of a flow rate based on a calculated first relationship determined by using a standard gas; determining an actual first relationship between the flow rate and the setpoint for the first gas from a plurality of values of the flow rate of the first gas determined at a corresponding plurality of values of the setpoint of the flow controller, wherein each of the plurality of values of the flow rate is determined from flowing the first gas through the flow controller at corresponding ones of the plurality of values for the setpoint; and flowing the first gas at the first value of the flow rate based on the actual first relationship. L'invention concerne des procédés et un appareil d'étalonnage in situ d'un régulateur de débit. Dans certains modes de réalisation, un procédé d'écoulement d'un gaz consiste à utiliser un régulateur de débit conçu pour fournir un premier gaz à une première valeur de débit fondée sur une première relation calculée déterminée au moyen d'un gaz standard ; à déterminer une première relation courante entre le débit et le point de consigne pour le premier gaz à partir d'une pluralité de valeurs du débit du premier gaz déterminées à une pluralité correspondante de valeurs du point de consigne du régulateur de débit, chaque valeur de la pluralité de valeurs de débit étant déterminée à partir de l'écoulement du premier gaz à travers le premier régulateur de débit aux valeurs correspondantes parmi la pluralité de valeurs pour le point de consigne ; et à faire s'écouler le premier gaz à la première valeur du débit en fonction de la première relation courante.