ULTRASONIC SENSOR

In the present invention, an ultrasonic sensor is realized in which while connecting an electrode of a piezoelectric element to a wiring member without interposing a case, high connection accuracy between the piezoelectric element and the case can be achieved, and favorable oscillation characteristi...

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1. Verfasser: NAMBU, KOJI
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:In the present invention, an ultrasonic sensor is realized in which while connecting an electrode of a piezoelectric element to a wiring member without interposing a case, high connection accuracy between the piezoelectric element and the case can be achieved, and favorable oscillation characteristics and sensitivity characteristics can be obtained. An ultrasonic sensor (1) has the following: a closed-bottom tubular case (2) comprising a recessed part (2B1) having a bottom surface that is an oscillation region; and a piezoelectric element (3) comprising a piezoelectric substrate (3E) having a first surface and a second surface facing the first surface, a first electrode (3A) provided on the first surface, a second electrode (3B) provided to a portion of the second surface, and a third electrode (3C) provided to a portion of the second surface, spaced apart from the second electrode (3B), and connected to the first electrode (3A), and the piezoelectric element is configured so that the first electrode (3A) is connected to the bottom of the recessed part (2B1) and so that the piezoelectric element is disposed at a position such that the center of the bottom surface of the piezoelectric element is, in plan view, different from the center of an oscillation region. Selon la présente invention, un capteur ultrasonore est réalisé, dans lequel, tout en reliant une électrode d'un élément piézoélectrique à un élément de câblage sans interposer un boîtier, une haute précision de liaison entre l'élément piézoélectrique et le boîtier peut être obtenue, et des caractéristiques d'oscillation favorables et des caractéristiques de sensibilité favorables peuvent être obtenues. Un capteur ultrasonore (1) présente ce qui suit : un boîtier tubulaire à fond fermé (2) comprenant une partie en retrait (2B1) ayant une surface de fond qui est une région d'oscillation ; et un élément piézoélectrique (3) comprenant un substrat piézoélectrique (3E) ayant une première surface et une seconde surface faisant face à la première surface, une première électrode (3A) disposée sur la première surface, une deuxième électrode (3B) disposée à une partie de la seconde surface et une troisième électrode (3C) disposée à une partie de la seconde surface, espacée de la deuxième électrode (3B) et reliée à la première électrode (3A), et l'élément piézoélectrique étant configuré de telle sorte que la première électrode (3A) est reliée au fond de la partie en retrait (2B1) et de telle sorte que l'élément