HEAT TREATMENT DEVICE

A heat treatment device (1) is provided with: a treatment container (2) for accommodating a plurality of substrates (S) subjected to a heat treatment; a substrate-holding member (3) for holding the plurality of substrates inside the treatment container (2); an induction heating coil (15) for forming an inductive loop inside the treatment container (2) and performing induction heating; a high-frequency power supply (16) for impressing high-frequency electric power to the induction heating coil (15); a gas-supply mechanism (8, 9, 10) for supplying treatment gas to the inside the treatment container (2); an exhaust mechanism (11, 12, 14) for exhausting the inside of the treatment container (2); and an inductive-heat-radiating element (7) provided between the induction heating coil (15) and the substrate-holding member (3) so as to enclose the substrate-holding member (3) inside the treatment container (2), heat being radiated by an inductive electric current formed by the inductive loop, and the substrate (S) held by the substrate-holding member (3) being heated by the radiated heat. The flow of inductive electric current to the substrate (S) is blocked by the inductive-heat-radiating element (7). Un dispositif de traitement thermique (1) comporte : un contenant de traitement (2) destiné à contenir une pluralité de substrats (S) soumis à un traitement thermique ; un élément de maintien de substrats (3) servant à maintenir la pluralité de substrats dans ledit contenant de traitement (2) ; une bobine de chauffage par induction (15) permettant de former une boucle d'induction dans le contenant de traitement (2) et de réaliser un chauffage par induction ; une alimentation électrique haute fréquence (16) conçue pour appliquer un courant électrique haute fréquence sur ladite bobine de chauffage par induction (15) ; un mécanisme d'alimentation en gaz (8, 9, 10) prévu pour alimenter en gaz de traitement l'intérieur du contenant de traitement (2) ; un mécanisme de vidage (11, 12, 14) destiné à vider l'intérieur du contenant de traitement (2) ; et un élément (7) rayonnant de la chaleur par induction installé entre la bobine de chauffage par induction (15) et ledit élément de maintien de substrats (3) afin d'enfermer cet élément de maintien de substrats (3) dans ledit contenant de traitement (2), la chaleur étant rayonnée par un courant électrique inductif créé par ladite boucle d'induction, et le substrat (S) qui est maintenu par l'élément de maintien de substrats (3)