CORNER CUT MASK
A mask structure configured for deposition of a layer on a rectangular substrate, e.g. an edge exclusion mask configured for deposition of a layer on a rectangular substrate is described. The mask structure includes a mask frame adapted for masking the edge of the substrate during layer deposition,...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | A mask structure configured for deposition of a layer on a rectangular substrate, e.g. an edge exclusion mask configured for deposition of a layer on a rectangular substrate is described. The mask structure includes a mask frame adapted for masking the edge of the substrate during layer deposition, wherein the mask frame comprises at least two mask frame side portions forming a corner in a corner area there between, wherein the mask frame is shaped to overlap the edge of the rectangular substrate such that a first overlap width at the side portions is larger than a second overlap width in the corner area.
La présente invention concerne une structure de masque configurée pour déposer une couche sur un substrat rectangulaire, par exemple un masque d'exclusion de bord configuré pour déposer une couche sur un substrat rectangulaire. La structure de masque comprend un cadre de masque conçu pour masquer le bord du substrat pendant le dépôt de la couche, le cadre de masque comprenant au moins deux parties latérales de cadre de masque formant un coin dans une zone de coin située entre celles-ci, le cadre de masque étant façonné pour recouvrir le bord du substrat rectangulaire, de telle sorte qu'une première largeur de recouvrement au niveau des parties latérales soit supérieure à une seconde largeur de recouvrement dans la zone de coin. |
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