SUBSTRATE SUPPORT WITH HEATER

Embodiments of substrate supports with a heater are provided herein. In some embodiments, a substrate support may include a first member to distribute heat to a substrate when present above a first surface of the first member; a heater coupled to the first member and having one or more heating zones to provide heat to the first member; a second member disposed beneath the first member; a tubular body disposed between the first and second members, wherein the tubular body forms a gap between the first and second members; and a plurality of substrate support pins disposed a first distance above the first surface of the first member, the plurality of substrate support pins to support a backside surface of a substrate when present on the substrate support. Des modes de réalisation de l'invention concernent des supports de substrat ayant un élément chauffant. Dans certains modes de réalisation, un support de substrat peut comprendre un premier élément pour distribuer la chaleur à un substrat lorsque celui-ci est présent au-dessus d'une première surface du premier élément ; un élément chauffant couplé au premier élément et ayant une ou plusieurs zones chauffantes pour fournir de la chaleur au premier élément ; un second élément disposé au-dessous du premier élément ; un corps tubulaire disposé entre les premier et second éléments, le corps tubulaire formant un espace entre les premier et second éléments ; et une pluralité de broches de support de substrat disposées à une première distance au-dessus de la première surface du premier élément, la pluralité de broches de support de substrat étant destinées à supporter une surface côté arrière d'un substrat lorsqu'il est présent sur le support de substrat.