SYSTEMS HAVING MULTI-LINKAGE ROBOTS AND METHODS TO CORRECT POSITIONAL AND ROTATIONAL ALIGNMENT IN MULTI-LINKAGE ROBOTS

Methods of correction of rotational and linear misalignment in multi-link robots are provided. The method allows for precise orientation of an end effector to put or pick substrates at a target destination by correcting for both positional and rotational orientation errors. The method rotates a boom linkage to a position adjacent to the target destination, corrects for linear and rotational error by rotating a boom linkage as well as an upper arm link as well as extending or retracting a wrist member. Systems including long boom linkages are disclosed. Numerous other aspects are provided. La présente invention concerne des procédés de correction d'un défaut d'alignement de rotation et linéaire dans des robots à liaisons multiples. Le procédé permet d'orienter précisément un effecteur terminal pour l'amener à déposer ou prendre des substrats sur une destination cible par la correction des erreurs d'orientation tant de position que de rotation. Le procédé fait tourner une liaison à flèche vers une position adjacente à la destination cible, corrige l'erreur linéaire et de rotation en faisant tourner une liaison à flèche ainsi qu'un bras de liaison et en étendant ou rétractant un élément de poignet. L'invention concerne des systèmes comprenant de longues liaisons à flèche. L'invention concerne de nombreux autres aspects.