MEMS DEVICES MADE WITH ISOTOPIC MATERIALS

A MEMS or NEMS device with at least one component made of a non-naturally occurring isotope material. The refined isotopic material provides advantages to device operation such as reduced mechanical loss, increased breakdown voltage, improved tunability and other advantages. L'invention concern...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	GUILLOU, DAVID, FRANCOIS, SINHA, RAJARISHI
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SWITCHES ELECTRICITY EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS RELAYS SELECTORS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A MEMS or NEMS device with at least one component made of a non-naturally occurring isotope material. The refined isotopic material provides advantages to device operation such as reduced mechanical loss, increased breakdown voltage, improved tunability and other advantages. L'invention concerne un dispositif de MEMS (microsystème électromécanique) ou de NEMS (nanosystème électromécanique) comportant au moins un composant en un matériau de composition isotopique non naturelle. Le matériau isotopique affiné fournit des avantages pour le fonctionnement du dispositif, tels qu'une perte mécanique réduite, une tension disruptive augmentée, une aptitude au réglage améliorée et d'autres avantages.