NANOPORE FABRICATION AND APPLICATIONS THEREOF
In one aspect, methods of nanopore formation in solid state membranes are described herein, In some embodiments, a method of forming an aperture comprises providing at least one solid state membrane in a chamber, selecting a first dose of ions sufficient to provide a first aperture of predetermined...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | In one aspect, methods of nanopore formation in solid state membranes are described herein, In some embodiments, a method of forming an aperture comprises providing at least one solid state membrane in a chamber, selecting a first dose of ions sufficient to provide a first aperture of predetermined diameter through the membrane and exposing a surface of the membrane at a first location to the first dose of ions in a focused ion beam having a focal point of diameter less than or equal to about 1 nm to remove material from the membrane at the first location thereby providing the first aperture having the predetermined diameter or substantially the predetermined diameter.
Un aspect de l'invention porte sur des procédés de formation de nanopores dans des membranes semi-conductrices. Certains modes de réalisation de l'invention portent sur un procédé de formation d'une ouverture, lequel procédé consiste en la disposition d'au moins une membrane semi-conductrice dans une chambre, la sélection d'une première dose d'ions suffisante pour produire une première ouverture de diamètre prédéterminé à travers la membrane et l'exposition d'une surface de la membrane en un premier emplacement à la première dose d'ions dans un faisceau d'ions focalisé ayant un point focal de diamètre inférieur ou égal à environ 1 nm afin de retirer un matériau à partir de la membrane au premier emplacement, de façon à produire ainsi la première ouverture ayant le diamètre prédéterminé ou sensiblement le diamètre prédéterminé. |
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