CHAMBER EXHAUST IN-SITU CLEANING FOR PROCESSING APPARATUSES

Apparatuses and systems are disclosed for exhausting by-products from a processing chamber. In an embodiment, a dual exhaust system for removing by-products from a processing chamber includes a first exhaust line and a second exhaust line with each line having a pressure control valve and a particle trap for removing by-products. A portion of the first exhaust line may be coupled in parallel with the second exhaust line. The second exhaust line can be isolated from the first exhaust line and cleaned while the first exhaust line is removing by-products from the processing chamber or vice versa. In one embodiment, an exhaust system for removing by-products from a processing chamber includes an exhaust line and valves for removing the by-products. The valves are designed to operate at a high temperature such that the heated by-products are in a vapor phase while being removed through the exhaust line. L'invention porte sur des appareils et sur des systèmes pour évacuer des sous-produits d'une chambre de traitement. Dans un mode de réalisation, un système à deux échappements destiné à évacuer les sous-produits d'une chambre de traitement comprend une première conduite d'échappement et une seconde conduite d'échappement, chaque conduite ayant une vanne de commande de la pression et un piège à particules pour l'élimination des sous-produits. Une partie de la première conduite d'échappement peut être accouplée en parallèle à la seconde conduite d'échappement. La seconde conduite d'échappement peut être isolée de la première conduite d'échappement et être nettoyée tandis que la première conduite d'échappement est en fonctionnement pour éliminer les sous-produits de la chambre de traitement ou inversement. Dans un mode de réalisation, un système d'échappement servant à éliminer des sous-produits d'une chambre de traitement comprend une conduite d'échappement et des soupapes pour éliminer les sous-produits. Les soupapes sont conçues pour travailler à une température élevée telle que les sous-produits chauffés se trouvent en phase vapeur tandis qu'ils sont éliminés par la conduite d'échappement.