ELECTROSTATIC CHUCK ALN DIELECTRIC REPAIR

The present invention generally relates to a refurbished electrostatic chuck and a method of refurbishing a used electrostatic chuck. Initially, a predetermined amount of dielectric material is removed from the used electrostatic chuck to leave a base surface. Then, the base surface is roughened to enhance the adherence of new dielectric material thereto. The new dielectric material is then sprayed onto the roughened surface. A mask is then placed over the new dielectric material to aid in the formation of mesas upon which a substrate will sit during processing. A portion of the new dielectric layer is then removed to form new mesas. After removing the mask, edges of the mesas may be smoothed and the refurbished electrostatic chuck is ready to return to service after cleaning. L'invention concerne de façon générale un mandrin électrostatique remis à neuf et un procédé de remise à neuf d'un tel mandrin. Au départ, une quantité prédéterminée de matériau diélectrique est retirée du mandrin électrostatique usé dans le but d'obtenir une surface de base. Cette surface de base est ensuite rendue rugueuse pour que le nouveau matériau diélectrique puisse y adhérer. La surface rendue rugueuse reçoit alors un matériau diélectrique neuf en pulvérisation. Un masque est disposé sur le matériau diélectrique neuf dans le but de faciliter la formation de mesas sur lesquels un substrat viendra reposer pendant le traitement. On retire ensuite une partie du matériau diélectrique pour former de nouvelles mesas. Après retrait du masque, les bords des mesas peuvent être dressés. Le mandrin hydrostatique restauré peut être maintenant remis en service après nettoyage.