SCANNING THERMAL MICROSCOPE AND METHOD FOR TEMPERATURE PROFILING USING SAME

The present invention relates to a scanning thermal microscope for profiling quantitative temperatures and thermal characteristics of a sample by scanning the sample, and to a method for temperature profiling using same. In particular, the scanning thermal microscope of the present invention comprises: a probe having a pointed end for scanning a sample; a driving-power supply unit for heating the pointed end of the probe in order to drive the pointed end of the probe into an active mode; a driving mechanism for controlling the height position of the pointed end of the probe in order to drive the pointed end of the probe into a contact mode, in which the pointed end of the probe contacts the sample, and into a non-contact mode, in which the pointed end of the probe is spaced apart from the sample; a control unit for controlling the driving-power supply unit and the driving mechanism in order to scan the sample in each of the contact mode and the non-contact mode by driving the pointed end of the probe into the active mode or a passive mode; and a sample-temperature measuring unit for measuring the temperature of the sample using a thermoelectric voltage generated at the pointed end of the probe due to the scanning of the sample. La présente invention concerne un microscope à sonde thermique locale à balayage, servant au profilage des températures quantitatives et des caractéristiques thermiques d'un échantillon par balayage de l'échantillon. L'invention concerne également un procédé de profilage de température utilisant ce microscope. En particulier, le microscope à sonde thermique locale à balayage selon la présente invention comprend : une sonde, comportant une extrémité pointue pour le balayage d'un échantillon ; une unité d'alimentation électrique à excitation, servant à chauffer l'extrémité pointue de la sonde afin d'exciter l'extrémité pointue de la sonde pour qu'elle passe en mode actif ; un mécanisme d'entraînement, servant à commander la position en hauteur de l'extrémité pointue de la sonde afin d'entraîner l'extrémité pointue de la sonde pour qu'elle passe en mode de contact, permettant à l'extrémité pointue de la sonde d'entrer en contact avec l'échantillon, et en mode de non contact, permettant d'écarter l'extrémité pointue de la sonde par rapport à l'échantillon ; une unité de commande, servant à commander l'unité d'alimentation électrique à excitation et le mécanisme d'entraînement afin de balayer l'échantillon en mode de contact et en mode d