POROUS COMPOSITE MEMBRANE INCLUDING MICROPOROUS MEMBRANE LAYERS AND NANOFIBER LAYER

A filtration member comprising a nanofiber layer and two nanoporous membrane layers is disclosed. The filtration member can be used to remove particles and gels from photoresist and other fluids by a combination of sieving and non-sieving particle retention mechanisms. La présente invention concerne...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	CHOI, WAI-MING, RAMIREZ, RAUL, A
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEPARATION TRANSPORTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	A filtration member comprising a nanofiber layer and two nanoporous membrane layers is disclosed. The filtration member can be used to remove particles and gels from photoresist and other fluids by a combination of sieving and non-sieving particle retention mechanisms. La présente invention concerne un élément de filtration comprenant une couche de nanofibres et deux couches de membranes nanoporeuses. L'élément de filtration peut être utilisé pour éliminer des particules et des gels d'une résine photosensible et d'autres fluides par le biais d'une combinaison de mécanismes de rétention de particules par tamisage et sans tamisage.