CONTINUOUS EJECTION SYSTEM INCLUDING COMPLIANT MEMBRANE TRANSDUCER

A continuous liquid ejection system includes a substrate (110) and an orifice plate315) affixed to the substrate. Portions of the substrate define a liquid chamber (310). The orifice plate includes a MEMS transducing member. A first portion of the MEMS transducing member is anchored to the substrate...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: YANG, QING, PANCHAWAGH, HRISHIKESH, V, HUFFMAN, JAMES, D, TRAUERNICHT, DAVID, PAUL, XIE, YONGLIN, LEBENS, JOHN, ANDREW, GRACE, JEREMY, MATTHEW, BAUMER, MICHAEL, FRANK
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:A continuous liquid ejection system includes a substrate (110) and an orifice plate315) affixed to the substrate. Portions of the substrate define a liquid chamber (310). The orifice plate includes a MEMS transducing member. A first portion of the MEMS transducing member is anchored to the substrate. A second portion of the MEMS transducing member extends over at least a portion of the liquid chamber and is free to move relative to the liquid chamber. A compliant membrane (320) is positioned in contact with the MEMS transducing member. A first portion of the compliant membrane covers the MEMS transducing member and a second portion of the compliant membrane is anchored to the substrate. The compliant membrane includes an orifice (135). A liquid supply provides a liquid to the liquid chamber under a pressure sufficient to eject a continuous jet of the liquid through the orifice located in the compliant membrane of the orifice plate. The MEMS transducing member is selectively actuated to cause a portion of the compliant membrane to be displaced relative to the liquid chamber to cause a drop of liquid to break off from the liquid jet. L'invention concerne un système d'éjection continue de liquide comprenant un substrat (110) et une plaque (315) à orifice fixée au substrat. Des parties du substrat définissent une chambre (310) à liquide. La plaque à orifice comprend un élément transducteur à MEMS. Une première portion de l'élément transducteur à MEMS est ancrée au substrat. Une deuxième partie de l'élément transducteur à MEMS s'étend par-dessus au moins une partie de la chambre à liquide et est libre de se déplacer par rapport à la chambre à liquide. Une membrane déformable (320) est positionnée en contact avec l'élément transducteur à MEMS. Une première partie de la membrane déformable recouvre l'élément transducteur à MEMS et une deuxième partie de la membrane déformable est ancrée au substrat. La membrane déformable comprend un orifice (135). Une alimentation en liquide amène un liquide à la chambre à liquide sous une pression suffisante pour éjecter un jet continu du liquide à travers l'orifice situé dans la membrane déformable de la plaque à orifice. L'élément transducteur à MEMS est actionné sélectivement pour provoquer un déplacement d'une partie de la membrane déformable par rapport à la chambre à liquide afin d'amener une goutte de liquide à se détacher du jet de liquide.