THIN FILMS AND SURFACE TOPOGRAPHY MEASUREMENT USING REDUCED LIBRARY

The properties of a surface of an object in presence of thin transparent films are determined by generating a library of model signals and processing a measurement signal via searching the library to evaluate films properties and topography. The library may be reduced with principal component analysis to enhance computation speed. Computation enhancement may also be achieved by removal of the height contributions from the signal leaving only the film contribution in the signal. The film measurement signal is compared to a library of film signals to determine the film parameters of the sample. The library of film signals is produced by processing each full signal in a library to similarly remove the height contributions leaving only the film contributions. Additionally, a post-analysis process may be applied to properly evaluate local topography. Selon l'invention, les propriétés d'une surface d'un objet en présence de films minces transparents sont déterminées par la génération d'une bibliothèque de signaux de modèle et par le traitement d'un signal de mesure par l'intermédiaire d'une recherche dans la bibliothèque pour évaluer des propriétés de films et une topographie. La bibliothèque peut être réduite par l'intermédiaire d'une analyse de composants principaux pour améliorer la vitesse de calcul. Une amélioration du calcul peut également être obtenue en éliminant des contributions de hauteur à partir du signal, laissant seulement la contribution de film dans le signal. Le signal de mesure de film est comparé à une bibliothèque de signaux de film pour déterminer les paramètres de film de l'échantillon. La bibliothèque de signaux de film est produite en traitant chaque signal complet dans une bibliothèque pour éliminer de manière similaire les contributions de hauteur laissant seulement les contributions de film. En outre, un traitement post-analyse peut être appliqué pour évaluer correctement une topographie locale.