TEMPERATURE COMPENSATION IN A CMUT DEVICE
CMUT devices are used in many applications e.g. for ultrasound imaging and pressure measurement. These devices operate by sensing a change in capacitance caused by deflection of a membrane (32) comprising one of a pair of electrodes in the device by ultrasound exposure of, or pressure applied on, th...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | CMUT devices are used in many applications e.g. for ultrasound imaging and pressure measurement. These devices operate by sensing a change in capacitance caused by deflection of a membrane (32) comprising one of a pair of electrodes in the device by ultrasound exposure of, or pressure applied on, the membrane. The CMUT device may be susceptible to the effects of changing temperature.
Les dispositifs CMUT sont utilisés dans de nombreuses applications, par ex. pour l'imagerie par ultrasons et la mesure de pression. Ces dispositifs fonctionnent en détectant un changement de capacité provoqué par la déformation d'une membrane comprenant une électrode d'une paire d'électrodes du dispositif par exposition à des ultrasons de la membrane ou exposition de celle-ci à une pression. Les dispositifs CMUT peuvent être sensibles aux effets d'un changement de température. |
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