METHOD OF DEPOSITING ZINC OXIDE COATINGS BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

A chemical vapor deposition process for depositing zinc oxide coatings is provided. The process includes providing a glass substrate at a temperature above 1112°F (600°C) and a coating apparatus above the glass substrate. The coating apparatus includes two or more separate flow pathways. Each flow pathway provides communication between an inlet opening and an outlet opening, and one or more flow conditioners disposed in each of the flow pathways. Gaseous precursor compounds including gaseous zinc-containing compound, a gaseous oxygen-containing compound, and a gaseous acetonate compound and one and more inert gases are provided. The gaseous precursor compounds and the one or more inert gases are introduced as two or more streams into the inlet openings. The streams are directed through the two or more separate flow pathways and discharged from the outlet openings of the coating apparatus. The gaseous precursor compounds and one or more inert gases mix to form a zinc oxide coating on a surface of the glass substrate. L'invention concerne un procédé de dépôt chimique en phase vapeur pour déposer des revêtements d'oxyde de zinc. Le procédé consiste à utiliser un substrat de verre à une température au-dessus de 1112°F (600°C) et un appareil de revêtement au-dessus du substrat de verre. L'appareil de revêtement comprend au moins deux trajets d'écoulement séparés. Chaque trajet d'écoulement fournit une communication entre une ouverture d'entrée et une ouverture de sortie, et un ou plusieurs conditionneurs d'écoulement disposés dans chacun des trajets d'écoulement. Des composés précurseurs gazeux comprenant un composé gazeux contenant du zinc, un composé gazeux contenant de l'oxygène et un composé gazeux acétonate et un ou plusieurs gaz inertes sont utilisés. Les composés précurseurs gazeux et le ou les gaz inertes sont introduits en tant qu'au moins deux courants dans les ouvertures d'entrée. Les courants sont dirigés à travers les trajets d'écoulement séparés et évacués par les ouvertures de sortie de l'appareil de revêtement. Les composés précurseurs gazeux et le ou les gaz inertes se mélangent pour former un revêtement d'oxyde de zinc sur une surface du substrat de verre.