BIOLOGICALLY BASED CHAMBER MATCHING

The subject disclosure relates to automatically learning relationships among a plurality of manufacturing tool parameters as applied to arbitrary semiconductor manufacturing tools and a graphical user interface that is supported, at least in part, by an autonomous learning system. The graphical user interface can create one or more matrixes based on received data and can further generate additional matrices by transforming the one or more matrixes. A series of windows can be output, wherein the series of windows, provide performance analysis that comprises a matching between a focus chamber and a reference chamber. In an aspect, the focus chamber and the reference chamber can be different chambers. In another aspect, the focus chamber and the reference chamber can be the same chamber, which provides analysis of the deterioration in performance of the same chamber over time. La présente invention concerne des relations d'apprentissage automatique parmi une pluralité de paramètres d'outils de fabrication tels qu'appliqués sur des outils de fabrication de semi-conducteurs arbitraires et une interface graphique utilisateur qui est supportée, au moins en partie, par un système d'apprentissage autonome. L'interface graphique utilisateur peut créer une ou plusieurs matrices sur la base des données reçues et peut en outre générer des matrices supplémentaires par la transformation de la ou des matrices. Une série de fenêtres peut être affichée, la série de fenêtres permettant une analyse de performance qui comprend une correspondance entre une chambre focale et une chambre de référence. Dans un aspect, la chambre focale et la chambre de référence peuvent être des chambres différentes. Dans un autre aspect, la chambre focale et la chambre de référence peuvent être la même chambre, ce qui permet une analyse de la détérioration de la performance dans la même chambre au cours du temps.