TEMPERATURE SENSOR COMPRISING A HIGH-OVERTONE BULK ACOUSTIC RESONATOR

The invention relates to a temperature sensor (2) comprising: a HBAR resonator (10); a unit (20) for determining the difference between two different resonance frequencies of the resonator at a temperature T, measured between two electrodes of a single electrode pair belonging to the HBAR resonator; and a unit (30) for determining the temperature of the resonator based on the frequency difference and a one-to-one function establishing a correspondence between the temperature and the frequency difference. The resonator (10) is formed by a stack comprising a first electrode (18), a transducer (12), a second electrode (19) and an acoustic substrate (14). According to the invention, the transducer (12) and the substrate (14) are cut in such a manner as to obtain high electro-acoustic couplings and a frequency temperature sensitivity differential between two different vibration modes that co-exist in the resonator greater than or equal to 1 ppm.K-1. Ce capteur de température (2) comprend un résonateur HBAR (10), une unité (20) de détermination de la différence entre deux fréquences de résonance distinctes du résonateur à une température T, mesurées entre deux électrodes d'une même paire du résonateur HBAR, et une unité (30) de détermination de la température du résonateur à partir de la différence de fréquences et d'une fonction biunivoque de correspondance entre la température et la différence de fréquences. Le résonateur (10) est formé par un empilement d'une première électrode (18), un transducteur (12), une deuxième électrode (19), un substrat acoustique (14) et les coupes du transducteur (12) et du substrat (14) sont choisies pour obtenir des couplages électroacoustiques élevés et un différentiel de sensibilités en température de fréquence entre deux modes de vibrations distincts coexistant au sein du résonateur supérieur ou égal à 1 ppm.K-1.