NEAR-FIELD OPTICAL PROBE MANUFACTURING USING ORGANO-MINERAL MATERIAL AND SOL-GEL PROCESS

The present invention concerns a method for manufacturing near-field optical probes comprising at least one organo-mineral material with an organic part and a mineral part, comprising steps of irradiating at least partially the organo-mineral material with a radiation beam to polymerize the organic...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KRIBICH, RAPHAEL, NATIVEL, LAURENT, MOURCHED, BACHAR, BELIER, BENOIT, GALL-BORRUT, PASCALE, FALGAYRETTES, PASCAL
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM] MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES MEASURING NANOTECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICS SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES TESTING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The present invention concerns a method for manufacturing near-field optical probes comprising at least one organo-mineral material with an organic part and a mineral part, comprising steps of irradiating at least partially the organo-mineral material with a radiation beam to polymerize the organic part in the irradiated areas, and polycondensing the mineral part by sol-gel process. The present invention concerns also near-field optical probes and AFM and SNOM systems using the probes. La présente invention concerne un procédé de fabrication de sondes optiques en champ proche comprenant au moins un matériau organo-minéral présentant une partie organique et une partie minérale. Le procédé comprend les étapes consistant à irradier au moins partiellement le matériau organo-minéral avec un faisceau de rayonnement pour polymériser la partie organique dans les zones irradiées et à polycondenser la partie minérale selon un procédé sol-gel. La présente invention concerne également des sondes optiques en champ proche et des systèmes AFM et SNOM utilisant les sondes.