SPUTTERING APPARATUS

In one embodiment, a magnetron assembly comprises a plurality of magnets and a yoke configured to hold the plurality of magnets in at least four independent linear arrays. The plurality of magnets is arranged in the yoke so as to form a pattern comprising an outer portion and an inner portion. The outer portion substantially surrounds the perimeter of the inner portion. The magnets used to form the outer portion have a first polarity and the magnets used to form the inner portion having a second polarity. The outer portion of the pattern comprises a pair of elongated sections that are substantially parallel to one another. The outer portion of the pattern comprises a pair of turnaround sections, wherein each turnaround section substantially spans respective ends of the pair of elongated sections and wherein each turnaround section comprises a plurality of magnets having the first polarity. In another embodiment, a magnetron assembly comprises a yoke and a plurality of magnets reconfigurably positioned on the yoke so as to form a racetrack pattern having at least one stepped turnaround section. Dans un mode de réalisation, un ensemble magnétron comprend une pluralité d'aimants et un empiècement conçu pour maintenir la pluralité d'aimants en au moins quatre ensembles linéaires indépendants. La pluralité d'aimants est agencée dans l'empiècement de manière à former une configuration comprenant une partie externe et une partie interne. La partie externe entoure sensiblement le périmètre de la partie interne. Les aimants utilisés pour former la partie externe présentent une première polarité et les aimants utilisés pour former la partie interne présentent une seconde polarité. La partie externe de la configuration comprend une paire de sections allongées sensiblement parallèles l'une à l'autre. La partie externe de la configuration comprend une paire de sections de rotation, chaque section de rotation enjambant sensiblement les extrémités respectives de la paire de sections allongées et chaque section de rotation comprenant une pluralité d'aimants présentant la première pluralité. Dans un autre mode de réalisation, un ensemble magnétron comprend un empiècement et une pluralité d'aimants positionnés de façon à pouvoir être reconfigurés sur l'empiècement de manière à former une configuration de piste comprenant au moins une section de rotation étagée.