THIN FILM MICROMACHINED GAS SENSOR

A thin film/MEMS electrochemical gas sensor includes a body having first and second joined subassemblies to form an interior portion of the body, and is composed of a semiconductor material. The body includes at least one opening configured to allow air to pass into the interior portion of the body. A membrane stack is located in the interior of the body, producing an electrical signal that represents a concentration of target gas in the air at the membrane stack. Conductive contacts are configured to provide electrical connection to the membrane stack to access the electrical signal produced by the membrane stack. L'invention porte sur un capteur de gaz électrochimique à film mince/système micro-électro-mécanique, lequel capteur comprend un corps ayant des premier et second sous-ensembles réunis afin de former une partie intérieure du corps, et est constitué par un matériau semi-conducteur. Le corps comprend au moins une ouverture configurée de façon à permettre à de l'air de passer dans la partie intérieure du corps. Un empilement de membranes est disposé dans l'intérieur du corps, produisant un signal électrique qui représente une concentration de gaz cible dans l'air au niveau de l'empilement de membranes. Des contacts conducteurs sont configurés de façon à produire une connexion électrique avec l'empilement de membranes afin d'accéder au signal électrique produit par l'empilement de membranes.