METHOD FOR PRODUCING LITHIUM-BASED LAYERS BY CVD
The invention relates to a method for producing a lithium-based layer by means of CVD, according to which the lithium precursor is contained in a liquid mixture comprising a solvent and a Lewis base. La présente invention concerne un procédé de réalisation par CVD d'une couche à base de lithium...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | The invention relates to a method for producing a lithium-based layer by means of CVD, according to which the lithium precursor is contained in a liquid mixture comprising a solvent and a Lewis base.
La présente invention concerne un procédé de réalisation par CVD d'une couche à base de lithium selon lequel le précurseur de lithium est contenu dans un mélange liquide comprenant un solvant et une base de Lewis. |
---|