METHOD FOR PRODUCING LITHIUM-BASED LAYERS BY CVD

The invention relates to a method for producing a lithium-based layer by means of CVD, according to which the lithium precursor is contained in a liquid mixture comprising a solvent and a Lewis base. La présente invention concerne un procédé de réalisation par CVD d'une couche à base de lithium...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ACHATZ, PHILIPP, DECAMS, JEAN-MANUEL, DESCHANVRES, JEAN-LUC, POULET, SYLVAIN, JODIN, LUCIE, JIMENEZ AREVALO, MARIA DEL CARMEN
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:The invention relates to a method for producing a lithium-based layer by means of CVD, according to which the lithium precursor is contained in a liquid mixture comprising a solvent and a Lewis base. La présente invention concerne un procédé de réalisation par CVD d'une couche à base de lithium selon lequel le précurseur de lithium est contenu dans un mélange liquide comprenant un solvant et une base de Lewis.