ELECTROSTATIC CLAMP, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING AN ELECTROSTATIC CLAMP

An electrostatic clamp for use in a lithographic apparatus includes burls and an electrode surrounded by an insulator and/or a dielectric material between adjacent burls. In an embodiment, two or more layers of dielectric material are provided between adjacent burls and surround an electrode provided between adjacent burls. The electrostatic clamp may be used to clamp an object to an object support in a lithographic apparatus. La présente invention concerne un dispositif de maintien électrostatique qui est destiné à être utilisé dans un appareil lithographique et qui comprend des protubérances ainsi qu'une électrode entourée par un isolant et/ou un matériau diélectrique entre les protubérances adjacentes. Dans un mode de réalisation, au moins deux couches de matériau diélectrique se trouvent entre les protubérances adjacentes et entourent une électrode située entre lesdites protubérances adjacentes. Le dispositif de maintien électrostatique peut servir à maintenir un objet sur un support d'objet dans un appareil lithographique.