CONVEYING ROLLER

Die Erfindung betrifft eine Transportrolle eines Rollentransportsystems für den Transport von wenigstens einem flächigen Siliziumsubstrat durch eine temperierte Prozesskammer einer Photovoltaik-Substratbearbeitungsanlage, in welcher das Siliziumsubstrat während seines Durchlaufs durch die Prozesskam...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	FRIGGE, STEFFEN, STAUDE, MIRKO, MEYER, MIRKO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CONVEYING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL PACKING PERFORMING OPERATIONS PNEUMATIC TUBE CONVEYORS SEMICONDUCTOR DEVICES SHOP CONVEYOR SYSTEMS STORING TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING TRANSPORTING
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