CONVEYING ROLLER

Die Erfindung betrifft eine Transportrolle eines Rollentransportsystems für den Transport von wenigstens einem flächigen Siliziumsubstrat durch eine temperierte Prozesskammer einer Photovoltaik-Substratbearbeitungsanlage, in welcher das Siliziumsubstrat während seines Durchlaufs durch die Prozesskammer bearbeitet wird. Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine in der Photovoltaik-Industrie zum Transport von Siliziumsubstraten geeignete Transportrolle aufzuzeigen, bei der ein sicherer Transport der Siliziumsubstrate in einer gewünschten Transportrichtung erfolgt, bei der ein Abrieb von den Siliziumsubstraten durch Reibung an der Transportrolle vermieden bzw. auf ein unkritisches Maß reduziert wird und die für den Einsatz bei hohen Temperaturen geeignet ist. Die Aufgabe wird durch eine Transportrolle der genannten Gattung gelöst, wobei die Transportrolle unter Ausbildung wenigstens eines einstückig mit der Transportrolle ausgebildeten Substratführungsbereiches profiliert ist, wobei der wenigstens eine Substratführungsbereich seitliche Endbereiche aufweist, auf welchen das Siliziumsubstrat aufliegt und welche einen größeren Durchmesser als die zwischen den Endbereichen liegenden Zwischenbereiche des Substratführungsbereiches aufweisen, sodass ein Kontakt der Auflageseite des Siliziumsubstrates mit der Transportrolle in diesem Zwischenbereich verhindert oder minimiert wird, ohne dass die Transportrolle hierfür eine Unterbrechung aufweist. The invention relates to a conveying roller of a roller conveying system for conveying at least one planar silicon substrate through a temperature-controlled process chamber of a photovoltaic substrate processing system, in which the silicon substrate is processed as the silicon substrate passes the through the process chamber. The aim of the present invention is to present a conveying roller suitable for conveying silicon substrates in the photovoltaic industry, for which conveying roller the silicon substrates are safety conveyed in a desired conveying direction and abrasion of the silicon substrates due to friction on the conveying roller is avoided or reduced to an uncritical amount, and which conveying roller is suitable for use at high temperatures. The aim is achieved by a conveying roller of the mentioned type, wherein the conveying roller is profiled so as to form at least one substrate guiding region integrated with the conveying roller as a single piece, wherein the at least one substrate guiding region h