DEVICE FOR INCREASING THE DEPTH DISCRIMINATION OF OPTICAL IMAGING SYSTEMS

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erhöhung der Tiefendiskriminierung optisch abbildender Systeme. Eine solche Vorrichtung umfaßt Mittel zur Strukturierung von Beleuchtungslicht in einem Beleuchtungsstrahlengang des optisch abbildenden Systems mit einer gitterartigen Struktur in einer konjugierten Objektebene des optisch abbildenden Systems. Sie umfaßt weiterhin Mittel zur Variation der Position der gitterartigen Strukturen entlang einer optischen Achse des Beleuchtungsstrahlengangs, sowie Mittel zur Variation der Lage einer Abbildung der gitterartigen Struktur auf eine Probe in einer Objektebene. Eine solche Vorrichtung zeichnet sich durch einen mit einer Steuerelektronik bzw. einem Steuerprogramm des optisch abbildenden Systems verbundenen Gitterwechsler zum automatischen Wechsel von der gitterartigen Struktur zu mindestens einer weiteren gitterartigen Struktur und/oder zum Entfernen der gitterartigen Struktur aus dem Beleuchtungsstrahlengang aus. The invention relates to a device for increasing the depth discrimination of optical imaging systems. Such a device comprises means for structuring illumination light in an illumination beam of the optical imaging system by means of a grating-like structure in a conjugated object plane of the optical imaging system. The device further comprises means for varying the position of the grating-like structures along an optical axis of the illumination beam, and means for varying the position of an image of the grating-like structure on a sample in an object plane. Such a device is characterised by a grating changer connected to control electronics and to a control program of the optical imaging system for automatically changing the grating-like structure to at least one further grating-like structure and/or to remove the grating-like structure out of the illumination beam. L'invention concerne un agencement destiné à élever la discrimination de profondeur de systèmes de représentation optique. Un tel agencement comprend des moyens de structuration de la lumière d'éclairage dans une trajectoire du faisceau d'éclairage du système de représentation optique, comprenant une structure de type réseau dans un plan conjugué de l'objet du système de représentation optique. Il comprend par ailleurs des moyens permettant la variation de la position des structures de type réseau suivant un axe optique de la trajectoire du faisceau d'éclairage, ainsi que des moyens de variation de la position d'une représentation de la s