APPARATUS FOR PRODUCING MULTILAYER SYSTEMS ON TAPE-LIKE SUBSTRATES

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Herstellen von Mehrfachschichtsystemen auf bandförmigen Substraten in einer Prozesskammer, in der sich mindestens eine schichtbildende Einrichtung befindet, wobei das bandförmige Substrat von einem Abwickler abgezogen und über verschiedene Walzen schließlich auf einen Aufwickler geführt wird. Durch die Erfindung soll eine Vorrichtung zum Herstellen von Mehrfachschichtsystemen und/oder Schichten mit großer Dicke auf bandförmigen Substraten geschaffen werden, die effektiv arbeitet und die Herstellung solcher Mehrfachschichtsysteme mit guter Qualität ermöglicht. Erreicht wird das dadurch, dass in der Prozesskammer (1) mit den schichtbildenden Einrichtungen (5, 5 ', 5 ' ') mindestens eine hohle Prozesswalze (2) angeordnet ist, in der sich eine schlitzförmige Öffnung (6) befindet, dass in der Prozesswalze (2) ein Abwickler (3) und ein Aufwickler (3 ') für das bandförmige Substrat (4) nebeneinander drehbar angeordnet sind und dass das bandförmige Substrat (4) von Abwickler (3) durch die Öffnung (6) über die Außenmantelfläche der Prozesswalze (2) durch die Öffnung (6) zurück zum Aufwickler ( 3 ') geführt ist. The invention relates to an apparatus for producing multilayer systems on tape-like substrates in a process chamber in which at least one layer-forming device is located, where the tape-like substrate is taken off from an unwinder and is conveyed over various rollers and finally to a winder. The invention is intended to provide an apparatus for producing multilayer systems and/or layers having a large thickness on tape-like substrates, which operates effectively and allows the production of such multilayer systems having good quality. This is achieved by at least one hollow process roller (2) in which there is a slit-like opening (6) being arranged with the layer-forming devices (5, 5', 5'') in the process chamber (1), by an unwinder (3) and a winder (3') for the tape-like substrate (4) being arranged in a rotatable manner next to one another in the process roller (2) and by the tape-like substrate (4) being conveyed from the unwinder (3) through the opening (6) via the outer surface of the process roller (2) and back through the opening (6) to the winder (3'). L'invention concerne un dispositif de fabrication de systèmes à plusieurs couches sur des substrats en forme de bande dans une chambre de traitement, dans laquelle se trouve au moins un appareil de formation de couche, le substrat en forme de bande étant ret